橢偏儀 Ellipsometer

描述

橢偏儀以偏振光照射樣品，量測反射光的偏振變化（Ψ 與 Δ），並利用 Fresnel 模型求得薄膜的複折射率（n + ik）、膜厚、界面粗糙度與光學異向性。解析度可達亞奈米等級，可搭配光譜橢偏、變角橢偏、穆勒矩陣橢偏與 in-situ 量測等模式，適用於多層薄膜與奈米級結構。